1. Pohjakuolokohdan tarkkuus on korkea, tarkkuus voi olla 1-2um (0,002 mm), ja vakaa suorituskyky on korkea tuotannon aikana.
2. Lattian alkuperä ei rajoita sitä, ja sitä voidaan käyttää toisessa kerroksessa tai sen yläpuolella.
3. Laaja valikoima sovellusskenaarioita, voidaan liittää tuotantolinjaan täyden automaation saavuttamiseksi.